**大学化学工程与技术学院高真空电阻蒸发镀膜设备采购项目
发布时间: (略)
项目概况
采购类型 | 采购 | ||
项目编号 | 中大招(货)[2024]148号 | ||
项目名称 | **大学化学工程与技术学院高真空电阻蒸发镀膜设备采购项目 | ||
申购主题 | 高真空电阻蒸(略) | ||
项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
最高限价(元) | 211,500.00 | ||
采购(略) | (略) | 采购结束时间 | 2024-07-04 12:00 |
采购单位 | **大学 | ||
经办人 | 王老师 | 经办人电话 | (略) |
期望收货时间 | 合同签订后90天交货 | ||
是否送货 | 是 | 送货地址 | **大学**校区海琴5号楼1026室 |
电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
备注 | 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用, 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书,请供应商根据指引(http://(略)edu.cn/article/4902)提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应,负偏离(不满足要求)将导致报价无效。 |
采购明细
1采购设备 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 |
数量 | 1台 |
参考品牌 |
技术要求
1 | 1. 真空腔室:净空间尺寸不小于Φ300×H450mm,前门开(略),前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ90mm,配一套方便拆卸的防污隔板;腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质; | 重要 | 否 | 否 |
2 | 2. 真空系统:主泵分子泵抽速不小于2000m3/h,双级旋片泵抽速不小20m3/h,全量程数显复合真空计量程:1×105~1×10-5Pa; | 重要 | 否 | 否 |
3 | 3. 真空极限:优于3.0×10-5Pa; | 重要 | 否 | 否 |
4 | 4. 抽速:抽至3.0×10-4Pa≤15min; | 重要 | 否 | 否 |
5 | 5. 基片台:根据客户样品测绘定制的基片台和掩膜板,最大可(略),基片台配有一体式全尺寸气动挡板,挡板开合要求磁流体密封;基片台需要设计旋转:旋转速(略),要求磁流体密封;需要预留基片台水冷和加热的真空接口; | 重要 | 否 | 否 |
6 | 6. ★蒸发源:不少(略),源间配隔离挡板。 | 非常重要 | 是 | 是 |
7 | 7. ▲各源均有水冷且独立,要求采用陶瓷绝缘结构,双源上有气动水平打开式挡板,高度可调,要求磁流体密封; | 非常重要 | 否 | 是 |
8 | 8. 蒸发电源:电源功率不小于2.2KW,电流显示精度0.1安培,具备粗调微调功能; | 重要 | 否 | 否 |
9 | 9. 速率和膜厚监控:采用石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率,监控膜厚;速率显示为0.01nm/s,厚度(略).1nm;配置不少于1个探头,10片6MHz原装晶振片; | 重要 | 否 | 否 |
10 | 10. 操控系统:PLC+(略),真空系统的控制分为手动和自动二种模式,自动模式下,根据腔内压强自动执行相关泵,阀的启闭; | 重要 | 否 | 否 |
11 | 11. 水冷系统:水冷部件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头、磁流体等,整机配水(略),控温范围:5~25℃,控温(略).1℃; | 重要 | 否 | 否 |
12 | 1、主机:高真空电阻蒸发镀膜设备 1套 2、附件:冷却循环水机 1台 3、耗材: 钨舟 10个 钼舟20个 高纯铝颗粒10克 钨蓝坩埚组合 3套 CF35铜垫圈 3个 橡胶密封圈1个 电离规1个 | 非常重要 | 否 | 否 |
13 | 整机(包括主机、附件及第三方产品)质保2年,耗材和易损件(橡胶密封圈、电离规)除外。 | 非常重要 | 否 | 否 |
14 | 由厂家提供终身上门服务,对于超过质保(略)。厂家在接到故障通知2小时内对采购人的服务要求作出响应;需要在现场解决问题的,在2个工作日内到达现场。 | 非常重要 | 否 | 否 |
15 | 派专业工程师(略) | 非常重要 | 否 | 否 |
资质要求
1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) |
是 |
2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”(需签字并盖公章) |
是 |
3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”(需按授权书要求签字并加盖公章) |
是 |
4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要(略)(需签字并盖公章) |
是 |
商务要求
1 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址:http://(略)com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意: (1)合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用; (2)本项目签署《**大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票,如无法开具,需在签署合同时提供合理说明,否则将可能会影响合同签署。 |
是 |
2 | 免费(略) | 3年 4年 5年 6年及以上 |
是 |
3 | 产品销售渠道(要求上传“制造厂商出具的授权函”) | 厂家(生产商)直接销售(出具厂家声明格(略)) 厂家(生产商)长期授权销售(授权书(略)) 其他授权销售方式 |
是 |