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芯片表面形貌全自动光学检查设备

上海 全部类型 2024年07月05日
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点击登录查看2024年7至12月政府采购意向-芯片表面形貌全自动光学检查设备 详细情况
芯片表面形貌全自动光学检查设备
项目所在采购意向： 点击登录查看2024年7至12月政府采购意向
采购单位： 点击登录查看
采购项目名称： 芯片表面形貌全自动光学检查设备
预算金额： 170.000000万元(人民币)
采购品目：
A****其他分析仪器
采购需求概况 ：
芯片尺寸:2、4、6英寸晶圆以及切割后的芯片;最小检测精度:优于10μm;缺陷Review倍率:5X/10X/20X。
预计采购时间： 2024-08
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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