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中国科学院微电子研究所SiGe/GeFinICP刻蚀机和SiGe/Si叠层高选择性远程等离子源ALE刻蚀腔采购项目中标公告

北京北京 2024-07-02
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一、项目编号:****(招标文件编号:****)

二、项目名称:点击登录查看SiGe/Ge Fin ICP刻蚀机和SiGe/Si叠层高选择性远程等离子源ALE 刻蚀腔采购项目

三、中标(成交)信息

供应商名称:北京北方华创微电子装备有限公司

供应商地址:北京市****

中标(成交)金额:792.****(万元)

四、主要标的信息

序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元)
1 北京北方华创微电子装备有限公司 SiGe/Ge Fin ICP刻蚀机;SiGe/Si叠层高选择性远程等离子源ALE 刻蚀腔 北京北方华创微电子装备有限公司 NMC 508SES;NMC 508SVM 1套;1套 /

五、评审专家(单一来源采购人员)名单:

闫树刚(专家组长)、徐永祥、蔡继勇、王东明、李俊杰(用户代表)

六、代理服务收费标准及金额:

本项目代理费收费标准:按照国家计委招标代理服务费暂行标准[2002]1980号文件中规定的货物采购收费比率。

本项目代理费总金额:8.236000 万元(人民币)

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

本项目采用综合评分法,中标供应商的评审总得分87.60分。

九、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称:点击登录查看

地址:北京市****

联系方式:点击登录查看 ****

2.采购代理机构信息

名 称:点击登录查看

地 址:北京市****

联系方式:迟兆洋、芮虎峥、荀笑尘 ****/****@oitc.com.cn 、****@oitc.com.cn

3.项目联系方式

项目联系人:迟兆洋、芮虎峥、荀笑尘

电 话: ****/0548

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