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ATC系列多腔&多工艺混合系统

免费样品检验 48小时发货 工厂直销
¥300万-1000万

产品规格:集成多种薄膜沉积方式、离子刻蚀和单腔室内分析操作或多腔室内

公司所在地:重庆

产品库存:现货及定制

可供货地区:全国

其他说明:

可集成多种工艺; 包含:标准多腔系统配置、标准单腔混合工艺系统配置

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可集成多种工艺; 包含:标准多腔系统配置、标准单腔混合工艺系统配置收起

品牌:
AJA
型号:
ATC UHV 超高真空双腔系统
用途范围:
实现基片在不同工艺腔之间传输,不破坏真空
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