专业CVD系统

专业CVD系统包含以下系列产品： 光增强CVD 改良CVD（GDS-2001 MCVD） 等离子体增强CVD 氮化镓晶圆生产系统（即将推出） 碳化硅氧化系统、碳化硅活化系统（即将推出） 晶圆处理系统

专业CVD系统包含以下系列产品： 光增强CVD 改良CVD（GDS-2001 MCVD） 等离子体增强CVD 氮化镓晶圆生产系统（即将推出） 碳化硅氧化系统、碳化硅活化系统（即将推出） 晶圆处理系统收起