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（略）2024年7月政府采购意向-（略） 详细情况
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| 项目所在采购意向： | （略）2024年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | （略） |
| 采购（略）： | （略） |
| 预算金额： | （略） |
| 采购品目： |
（略）
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| 采购需求概况 ： |
电子束蒸镀设备，1套。主要参数包括，电子束蒸镀主系统： 1、工件台尺寸：圆形工件台，直径6英寸； 2、装载量：可装载一个6英寸样品或更小尺寸样品； 3、工件台降温：工件台可通水冷却，保证工艺温度不高于80℃； 4、工作台转速：0至20转/分钟可调； 5、电子枪功率：6千瓦； 6、坩埚数量：4*15CC； 7、极限真空：优于1E-5Pa； 8、抽气速率：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟； 9、漏率：优于6E-3Pa.L/s； 10、最小镀膜厚度≤1nm，最大厚膜厚度≥3000nm； 11、真空测量系统的测量范围为大气到4E-7Pa； 12、晶振控制器，速率0.1~1 nm可调，速率精度0.01 nm/s； 13、镀膜均匀性：直6英寸范围内均匀性优于±2%； 14、镀膜重复性：批次间重复性优于±2%； 磁控溅射辅助模块： 15、工件台尺寸：圆形工件台，直径4英寸； 16、装载量：可装载一个4英寸样品或更小尺寸样品； 17、工件台加热：工件台最高加热温度为200℃，温度控制精度为±0.1℃； 18、工作台转速：0至20转/分钟可调； 19、直流溅射电源：1*500W； 20、射频溅射电源：1*300W； 21、靶枪：3*2英寸； 22、极限真空：优于1E-5Pa； 23、抽气速率：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟； 24、漏率：优于6E-3Pa.L/s； 25、最小镀膜厚度≤1nm，最大厚膜厚度≥3000nm； 26、真空测量系统的测量范围为大气到4E-7Pa，工艺压力测量精度≤0.01mTorr； 27、镀膜均匀性：直4英寸范围内均匀性优于±2%； 28、镀膜重复性：批次间重复性优于±2% 28、镀膜重复性：批次间重复性优于±2%
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| 预计采购时间： | （略） |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
