| 技术参数及配置要求 | 1.测试结构：斐索干涉卧式结构； 2.光源波长：632.8nm（采用氦氖激光光源）； 3.测试口径：φ100mm（4″）； 4.数字高速相机：分辨率≥1.2K×1.2K pexil，帧速≥50Hz ； 5.光学变焦：1-5X光学变倍； 6.对准方式：两点对准； 7.对准视场：±3°； 8.平面透射标准镜（TF）：材料：石英；通光口径：Φ100mm；标准面PV值：λ/20，中频PSD1小于0.9nm （φ100mm内），出具ZYGO干涉仪测试报告； 9.平面透射标准镜（RF）：材料：石英；通光口径：Φ100mm；标准面PV值：λ/20，中频PSD1小于0.9nm （φ100mm内），出具ZYGO干涉仪测试报告； 10.球面标准镜（TS): 标准面面型PV值：λ/20，通用卡口结构； F0.75球面标准镜；R1（mm）49.683；R2（mm）44.683；R值误差±1mm；D1（mm）72；D2（mm）67；D值误差0.5mm。 F3.3球面标准镜；R1（mm）313.447；R2（mm）310.747；R值误差±1mm；D1（mm）98；D2（mm）97；D值误差0.5mm。 F5.6球面标准镜；R1（mm）533.199；R2（mm）530.519 ;R值误差±1mm；D1（mm）98；D2（mm）97；D值误差0.5mm。 F7.1球面标准镜；R1（mm）699.329；R2（mm）696.557；R值误差±1mm ;D1（mm）99；D2（mm）98；D值误差0.5mm。 11.系统空腔精度：PV值≤λ/15； 12.RMS重复性精度：λ/2000； 13.五维调整架:三维平移，两维角度，五维调节，三爪卡盘，最大夹持口径Φ110mm； 14.两维调整架:两维角度调节，最大夹持口径Φ110mm； 15.球面导轨：THK精密导轨，有效长度2m； 16.光栅尺：测量曲率半径，长度：2m；分辨率：0.001mm；配数显表； 17．高速采样抗震模块 操作系统：Windows 10 操作软件：输出数据：峰谷值（PV 值）、标准偏差（RMS）、等高图、三维立体图、干 涉条纹图、X-Y 剖面图、MTF 光学传递函数、PSF 点扩散函数、波前梯度等。其他功能：数据保存、数据打印、测量区域图形的设定。数据格式：.dat，XYZ 等标准数据格式，构成部件：机械相移器，电脑、全套分析系统软件。电源：210-230V 40-60Hz |
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