晶圆级微纳加工平台

A****_电气物理设备

面向学校大力发展的新材料、新能源、电子信息和前沿物理等多个学科领域。平台包括镀膜、加工和表征模块； 镀膜配备高性能离子源和最新膜厚光控，保证高精度和均匀性，满足高性能光电子集成器件等高性能薄膜的需求； 电子束可以加工高精度纳米尺寸光电子器件，达到业界顶尖精度，满足绝大多数前沿器件的加工需求，可小批量生产； 微纳结构样品形貌、尺寸观测，配备了不同波长的激光器、探测器和低温台等，可对不同种类样品进行测试。