8英寸高低温半自动晶圆测试探针台

A****-半导体器件参数测量仪

采购标的名称：8英寸高低温半自动晶圆测试探针台 主要功能：实现对先进GAA工艺和200mm晶圆特性的研究，验证建模平台和工艺设计的合理性并做出改进。通过DC-CV、1/f噪声测验和DC-IV等手段来对GAA器件建模，最终实现满足极端条件下测量的挑战和实验室自动化的需求，也为大规模批量应用提供准确的电气特性。 采购标的数量：1台 质量要求： （1）具有微暗室优化的腔体结构可以减少干燥气体的消耗量；（2）能够在半自动系统中进行DC-CV、DC-IV, RTN和RF测试且适配200mm晶圆的测试；（3）支持温度范围 -60°C-+200°C；（4）高性能防震系统；（5）最高移动速度>10mm/S；（6）Chuck角度旋转精度0.0001°，往返重复精度+-1μm，绝对定位精度+/-2μm。 服务、安全、时限等要求：12周内到货。