点击登录查看2024年10至12月政府采购意向-先进光刻工艺仿真平台 详细情况
先进光刻工艺仿真平台 | |
项目所在采购意向: | 点击登录查看2024年10至12月政府采购意向 |
采购单位: | 点击登录查看 |
采购项目名称: | 先进光刻工艺仿真平台 |
预算金额: | 500.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****-应用软件 |
采购需求概况 : | 采购标的名称:先进光刻仿真平台 采购标的需要实现的主要功能:光刻中的光学临近效应修正(OPC)和光源掩模联合优化(SMO)工作,可以完成DUV光刻中基于传统方法以及反演光刻(ILT)的OPC和SMO,还能够从基础物理原理与化学原理出发,精确的模拟光刻过程,包括光刻机曝光过程中的光学行为,光刻胶中发生的光学,光化学反应,化学反应的行为。OPC工作通过优化掩模图形,使得光刻生产中最终的光刻胶形貌得到优化,提高光刻质量,SMO功能则能够同时优化光刻中的掩模和光源,进而提高光刻质量。 采购标的数量:一套(仿真软件平台) 采购标的需要满足的质量等要求:既可以完成DUV光刻中传统方法以及反演光刻(ILT)的OPC和SMO,还能够进行基础物理原理与化学原理的严格仿真(具体包含以下模块:1,DUV集成开发仿真环境;2,光源掩模协同优化(DUV SMO)模块;3,光学临近效应修正(DUV OPC)模块;4,ILT反演光刻模块;5 DUV 光刻严格仿真软件) 还应包含以下调试培训服务: 1平台的安装和调试 安装版本为公司能提供的平台版本的最新稳定版本 2培训 平台成功启动后, 提供示例项目,演示平台功能,并开展软件使用的培训。 3端和现场的技术讨论: 4 测试案例所用示例图形设计 |
预计采购时间: | 2024-10 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。