沈阳仪表科学研究院有限公司行星式离子辅助反应沉积镀膜设备（真空镀膜机）采购项目公开招标公告（三次）

点击登录查看行星式离子辅助反应沉积镀膜设备（真空镀膜机） 采购项目公开招标公告（三次） 招标编号：**** 公告发布时间：2024年 7月 29日 1. 招标条件 本招标项目为行星式离子辅助反应沉积镀膜设备（真空镀膜机）采购项目，招 标人为点击登录查看，资金来源为国企自筹资金。该项目已具备招 标条件，现对行星式离子辅助反应沉积镀膜设备（真空镀膜机）采购项目进行公开 招标。因一次、二次公告获取招标文件的投标人不足，现发布三次公告。 2. 项目概况与招标范围 2.1 招标内容：行星式离子辅助反应沉积镀膜设备（真空镀膜机）1台。 2.2 主要技术要求 2.2.1 真空系统：采用全无油系统，主泵采用冷泵，粗抽泵采用干泵。极限真 空优于 5×10-5 Pa； 2.2.2 蒸发源：两个电子枪蒸发源，两组阻蒸蒸发源； 2.2.3 离子源：配置射频离子源辅助系统； 2.2.4 膜厚控制系统：需同时包含光控系统和晶控系统； 2.2.5 基板转动机构：行星式转动。 2.3 交货期：5个月内。 2.4 交货地点：沈阳市浑南区浑南东路 49-28号。 3. 投标人资格要求 3.1 投标单位应具有独立法人资格，是制造商或该制造商直接授权的代理商； 3.2 代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函原件； 3.3 投标人真空镀膜机销售业绩不低于 20台； 3.4 本次招标 不接受 联合体投标。 4. 招标文件的获取 4.1 发售时间：2024年 7月 30日 9:00时至 2024年 8月 5日 16:00时（北京 时间），节假日除外。 4.2 招标文件每套售价 500 元，售后不退。 4.3 招标文件购买方式：在发售时间内，于沈阳市皇姑区昆山中路万众商务大 厦1705室现场领购或通过电子邮件****@yeah.net提交资格文件和获取招标文 件。资格文件包括：投标人独立法人资格证明、法人代表证明、法定代表人签署的 委托代理人授权书等。 5. 投标文件的递交 5.1 投标文件递交的截止时间为 2024 年 8 月 21 日 9 时 30 分前现场递交 至点击登录查看会议室（地址：沈阳市****点击登录查看 地 址：沈阳市****点击登录查看 电 话：**** 招标代理机构：点击登录查看 地 址：沈阳市皇姑区昆山中路 2号 联 系 人：云莹、付云鹏、赵俊 联系电话：**** 电子邮箱：****@yeah.net 招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名） 招标人或其招标代理机构： （盖章）