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点击登录查看2024年8月政府采购意向-西电芜湖研究院碳化硅外延炉采购 详细情况
| 西电芜湖研究院碳化硅外延炉采购 | |
| 项目所在采购意向： | 点击登录查看2024年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 点击登录查看 |
| 采购项目名称： | 西电芜湖研究院碳化硅外延炉采购 |
| 预算金额： | 800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 西安电子科技大学芜湖研究院采购碳化硅外延炉1台。加工晶圆尺寸为：6、8英寸兼容；最大工艺温度为：1750℃；高速生长速率为：≥60μm/h，标准生长速率为：≥30μm/h；背景浓度＜1E14 cm-3；厚度11 um外延层（6 8英寸）指标为 ：单片外延层厚度不均匀性为：≤2 %（б/mean），片内掺杂浓度不均匀性为：≤4 %（б/mean）；可控掺杂浓度范围为：1E14～1E19 cm-3。用于碳化硅外延材料生长，实现自主外延晶圆材料供给。 |
| 预计采购时间： | 2024-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
