场发射扫描电镜

A****教学仪器

拟采购一套高分辨场发射扫描电子显微镜（包含离子溅射仪，主动减震台），同时仪器需要加配能谱仪（≥60mm2），电镜需要配4个以上的探测器（必须包含收集二次电子和背散射电子的探测器），其中二次电子分辨率在15kV时≤0.6nm，在1kV时≤0.8nm 。