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为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将山东大学2024年（第六十六批）09月至11月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 高精度表面化学机械抛光机 | **** | A**** 其他金属加工设备 | 本次采购高精度表面化学机械抛光机一台，产品需要实现8英寸及以上碳化硅抛光，同时满足粗抛和精抛工艺，用于第三代半导体碳化硅材料加工研究。 | 195 | 2024年10月 | |
| 2 | X-ray空洞检测设备 | JN**** | A**** 其他电工、电子生产设备 | 本次采购X-ray空洞检测设备1台，产品需达到200 X几何放大率、兼容2D/2.5D/3D，满足TO封装、碳化硅模块空洞检测要求，用于碳化硅分立器件及模块研究。 | 200 | 2024年10月 | |
| 3 | 钝化沉积设备 | JN**** | A**** 通用工业窑炉 | 本次采购钝化沉积设备一台，产品需要达到高温区最高温度需要超过2200℃，实现高温处理。 | 300 | 2024年11月 | |
| 4 | 高功率半导体器件分析仪 | JN**** | A**** 半导体器件参数测量仪 | 本次采购高功率半导体器件分析仪1台，进行10kV功率器件耐击穿性能测试，为高压大功率器件研制提供数据支撑。 | 150 | 2024年11月 | |
| 5 | 原子层刻蚀设备 | JN**** | A**** 电子工业生产设备 | 采购原子层刻蚀设备1台，产品需实现大尺寸、纳米级厚度可控、高均匀性的金属和半导体刻蚀，满足功率器件刻蚀工艺需求。 | 450 | 2024年10月 | |
| 6 | 振荡式动物肺功能检测系统 | JN**** | A**** 医用电子生理参数检测仪器设备 | 本次采购振荡式动物肺功能检测系统1套，产品需要满足各种肺功能参数的检测，用于各种动物呼吸疾病模型的研究。 | 130 | 2024年09月 | |
| 7 | 8英寸超精密机械抛光机 | JN**** | A**** 其他机械设备 | 本次采购8英寸超精密机械抛光机1台套，用于碳化硅及其他单晶材料机械磨抛加工，满足超低粗糙度表面加工需求。 | 350 | 2024年10月 | |
| 8 | 半导体功率器件静态参数分析仪 | JN**** | A**** 电子工业生产设备 | 采购半导体功率器件静态参数分析仪1台，产品需实现能够测量半导体器件IV、CV、脉冲/动态 IV 等参数，满足功率器件测试需求。 | 150 | 2024年10月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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