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发布时间：**** 08:28:09 截止时间：**** 08:37:56
申购主题： 电热燃烧+水淋尾气处理装置
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： 南京邮电****
供应商资质：
备注说明： 见附件（项目需求资料）
送货时间：
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 采购内容 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 电热燃烧+水淋尾气处理装置 | 1.0/台 | 茂竺 | MS-HS0086 | 1*.能处理SiH4,NH3,N2O,SF6,H2,Ar,O2等PECVD机台排出的尾气等，处理效率达到98%以上。 2*.电热+水淋式处理方式，半自动控。带循环水系统，循环水配备双流量显示仪表，耐腐蚀水泵，具有SEMI S2安全认证。 3*.废气的进出口必须有负压表及负压监控报警表。循环水流量报警。配备氮气及压缩空气流量计，循环水流量报警仪表单独设立，流量报警值可以设定。具有温度偏差报警，进出口负压报警功能。维护及维修方便。 4，设备总处理量不低于500升每分钟。 5，加热温控精度：正负1摄氏度 6，入口KF40，出口DN100。 7，溶液PH计在线监测和实时显示。 8，预留箱体排风单独接口及风阀调节功能。排风保证散热及循环排风。 | 按行业标准提供服务 |
信息来源：https:****
