2024年11月采购意向项目-全自动高低温射频滤波器/集成电路测试设备（498万）

政府采购意向公告 点击登录查看 2024 年 11 月采购意向项目-全自动高 低温射频滤波器/集成电路测试设备（498 万）政府采购意 向 为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展 政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10 号）等有关规 定，现将点击登录查看 2024 年 11 月采购意向项目-全自动高低温 射频滤波器/集成电路测试设备（498 万）采购意向公开如下： 预算 预计 序 采购项目 金额 采购品目 采购需求概况 采购 备注 号 名称 （万 时间 元） 1 全 自 动 高 A**** 拟购置设备为 8 英寸全自动高低温芯 498 2024- 低 温 射 频 5 集成电路 片 测 试 探 针 台 和 一 台 2 端 口 的 11 滤波器 /集 参数测量仪 20GHz 的网络分析仪，实现-60 至 成 电 路 测 300℃的高低温芯片测试表征，两者 试设备 均属于射频元器件测试的核心设备。 这套系统用于 8 英寸以下各种规格晶 圆、碎片、单粒芯片、基片等电域参 数的测量表征，进而实现对半导体器 件、工艺结构等进行设计验证、提参 建模、测试表征、工艺监控以及小批 量测试。实现 RF 射频半导体器件的 测量，获取器件的 S 参数、带宽、增 益、线性度、效率、噪声系数、压缩 点及效率等参数，属于一套从实验室 LAB 研发到晶圆厂 FAB 生产制造全 覆盖的高端在片测试用探针台。 主要 技术指标包括： 1.配置高低温全自动 探针台能满足 8 英寸及以下各种规格 晶圆、碎片、单粒芯片、基片、材料 等电参数的测量表征，实现 2 路 DC- 20GHz RF 测试。 2.探针台支持搭配 分 立 半 导 体 参 数 分 析 仪 B1500A 、 KEITHLEY 4200A- SCS、各种源表 SMU、LCR、矢量网 络分析仪、频谱仪、信号源、示波器 等、以及 Keysight 4080 半导体参 数测试系统和 KEITHLEY S530 参数 测试系统等，真正实现半导体从 Lab 到 Fab 的全研制生命周期测量应用。 3.集成上下料单元，提供符合 SEMI 标准 4”、6”、8”晶片的 2 个 SEMI Cassette station， 每个 Cassette 放 置 25 张 Wafer 。 除 此 之 外，Prober 也支持手动模式放置晶 圆。 4. 配置 GPIB 接口，与第三方测 试应用软件无缝集成。 5.探针台通过 仅通过升级附件，可进行直流-射频混 合、负载牵引和毫米波和太赫兹频段 测试。 6. 配置高低温控制系统，温 度范围：-60℃～300℃。 7. 温度分 辨率≤0.1℃；升降温速率要求-60℃ ～25℃升温时间≤5 分钟，25℃～ 300℃的升温时间≤27 分钟，300℃ ～25℃降温时间≤15 分钟，25℃ ～-60℃的降温时间≤15 分钟。 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体 采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 点击登录查看 ****

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