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DRIE深硅刻蚀系统

江苏南京 全部类型 2024年11月13日
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点击登录查看2024年12月政府采购意向-DRIE深硅刻蚀系统 详细情况
DRIE深硅刻蚀系统
项目所在采购意向： 点击登录查看2024年12月政府采购意向
采购单位： 点击登录查看
采购项目名称： DRIE深硅刻蚀系统
预算金额： 450.000000万元(人民币)
采购品目：
A****其他电气设备
采购需求概况 ：
购置1套。实现8寸及以下晶圆的深硅刻蚀和介质刻蚀，其中深硅刻蚀最大刻蚀速度不小于1微米/分钟，最大深宽比不小于10:1，最小扇贝粗糙度小于100 nm。
预计采购时间： 2024-12
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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