北京怀柔实验室SIC2024年第一批机电设备采购项目中标结果公告

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项目编号：****
招标范围：N型碳化硅外延炉是一种通过化学气相沉积（CVD）方法生长碳化硅外延层的设备，该设备气流进气方向与晶圆表面垂直，兼容6/8英寸衬底，单次生长最大厚度 100微米，且满足片内厚度不均匀性小于2%，片内掺杂浓度不均匀性小于5%,表面致命缺陷密度小于0.5cm^-2的技术指标。
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开标时间：**** 09:30
公示时间：**** 13:36 - **** 23:59
中标结果公告时间：**** 16:07
中标人：NuFlareTechnology,Inc.
制造商：NuFlare Technology, Inc.
制造商国家或地区：日本