射频电源终止公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.1电压范围：220VAC±20％，3线，带地线（PE）；
1.2频率范围：47Hz~53Hz；
1.3输入电流：5.3A；
1.4浪涌电流：冷启动40A；
1.5功率因数：PF≥0.95（最大功率输出时）；
1.6效率：≥70％（输出功率大于100W，并且负载为标准50欧时）；
1.7输出频率：13.56MHz±50ppm；
1.8功率：最小功率5W，最大功率600W，连续可调；
1.9最大反射功率：100W,如果反射功率大于100W，射频电源会降低输出，保持发射不大于100W；
配套附件：
1、真空腔室：尺寸φ500×H420mm,材质SUS304优质不锈钢，圆柱形、前开门结构。（1件）
2、基片台：尺寸φ150mm，可0～20转/分钟旋转，可加热至500℃，可调可控，基片台带有绝缘设计，可加负偏压，带气动挡板。（1件）
3、溅射靶：3套3英寸永磁靶，靶角度、靶基距免拆卸手动可调，带独立气动挡板。
4、真空系统：采用复合分子泵（1200L/S）+直联高速旋片式真空泵(9L/S)+高真空阀门+数显复合真空计。（1件）
5、气路：Ar，100sccm；N2，50sccm；O2，20sccm。（1件）
6、水路气体：配制冷量5.17KW冷水机（1件）；配最大排气量115L/min空压机（1件）。
7、自动恒压系统，薄膜规+电机驱动控制阀+控制软件闭环自动控制；保持镀膜时工艺压力稳定。（1件）
8、电气控制：PLC+触摸屏半自动控制系统。（1件）
9、机架：机架和控制柜一体化设计，碳钢制作，表面喷塑处理，配脚轮。（1件）
10、靶材：铂99.99%，φ76.2×2mm，1块；铜，φ76.2×3mm，1块；镍99.995%，φ76.2×2mm，1块；铬99.95% ，φ76.2×5mm，1块；镍铬合金（镍90:铬10），φ76.2*5mm，1块。

质保期

1.产品质保2年，质保期内维修免费（人为损坏因素除外），质保期以外设备的维护，只收取成本费。
2.为保证售后服务质量，设备必须提供制造厂家授权文件和售后服务承诺
3.所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件）

售后要求

24小时内响应客户，重大问题48小时内到达现场